田中贵金属开始提供新开发的高质量Au蒸镀材料“SJeva”样品

2018年1月10日 10時00分

成功减少了产品中的非金属夹杂物
在半导体及医疗设备用途上，有助于提高生产效率和降低成本

东京, 2018年1月10日 - (亚太商讯) - 田中控股株式会社（总公司：东京都千代田区、执行总裁：田苗明）宣布田中贵金属集团旗下经营制造事业的田中贵金属工业株式会社（总公司：东京都千代田区、执行总裁：田苗明）开始提供新开发的高质量Au蒸镀材料“SJeva”样品。由于本蒸镀材料与过去的产品相比纯度更高，所以可以通过减少贵金属使用、减少工序提高生产效率及降低成本，而且还可以提高回收再生性。

高质量Au蒸镀材料"SJeva"（粒状）

"SJeva"溶解前 SEM照片

"SJeva"溶解后 SEM照片

本蒸镀材料通过改善制造方法，比过去产品成功实现了蒸镀材料中的非金属夹杂物（※1）的降低。田中贵金属工业虽然以往能生产纯度在4N（含金量99.99%）～5N（含金量99.999%）的Au蒸镀材料，但本蒸镀材料是进一步充实高纯度产品阵容的蒸镀材料。通过使用非金属夹杂物极少的蒸镀材料，减少在蒸镀材料溶解时凝结在表面的污垢成分，所以无需进行清洗。此外，高纯度蒸镀材料还可缩短成膜前的预热时间（※2），可以减少对成膜不起作用的蒸镀材料消耗，能降低成本。此外，由于本蒸镀材料的气体成分含量很少，有望带来抑制成膜时从蒸镀源产生的飞溅现象（※3）的效果，在进行高速率蒸镀时也可减少基板上的颗粒（※4）吸附数量。

由于本蒸镀材料具有以上的特点及优势，在半导体领域内的细微配线、MEMS，以及光学装置、LED、医疗设备等的使用蒸镀材料制成的最终产品中，有望对提高终端用户的生产效率、降低成本做出贡献。

本蒸镀材料的优势

- 清洗工序的减少
通常蒸镀材料根据用途会加工成丸状、板状、带状、线状、颗粒状等各种形状，但是在蒸镀时必须进行溶解。由于溶解时蒸镀材料中的非金属夹杂物会发生凝缩形成污垢，所以需要清洗工序。但是，由于本蒸镀材料中的杂质非常少，无需清洗工序，可望减少工序。

- 通过缩短成膜前的预热时间降低成本
由于高纯度蒸镀材料可缩短成膜前的预热时间，可以减少对成膜不起作用的蒸镀材料消耗，能降低成本。

- 抑制成膜时从蒸镀源产生的飞溅现象，减少进行高速率蒸镀时基板上的颗粒吸附数量
飞溅现象是在基板及成膜上引起颗粒及针孔等缺陷的，在蒸镀时发生的具有代表性的问题。此外，提高蒸镀率的成膜在提高生产效率方面也是值得期待的领域，但是蒸镀率提高得越多越容易产生飞溅现象，如何解决成了面临的课题。其原因是蒸镀材料料中所含的气体成分，由于本蒸镀材料通过改善制造工序，成功地减少了气体成分，有望带来抑制飞溅现象的效果。

(※1)非金属夹杂物：是指金属材料内部的氧化物、硫化物等非金属物质。
(※2)预热时间：直至蒸镀材料溶解的预先加热时间。
(※3)飞溅现象：一种在成膜工序中在基板及成膜上引起颗粒及针孔等缺陷的，在蒸镀时发生的具有代表性的问题。
(※4)颗粒：是指微粒、尘埃。颗粒会引起基板的特性及可靠性降低、产量下降。

新闻稿: http://www.acnnewswire.com/clientreports/598/170110_CH.pdf

田中控股株式会社（统筹田中贵金属集团之控股公司）

总公司：东京都千代田区丸之内2-7-3 东京大楼22F
代表：执行总裁　田苗明
创业：1885年
设立：1918年※
资本额：5亿日元
集团连结员工数：5,120名（2016年度）
集团连结营业额：1兆642亿5,900万日元（2016年度）
集团之主要事业内容：作为田中金属集团的核心持股公司，从事战略性及效率性的集团运营及集团各企业的经营指导
网址：http://www.tanaka.co.jp（集团）, http://www.tanaka.com.cn（产业制品）
※2010年4月1日转换到以田中控股株式会社为控股公司的体制。

田中贵金属工业株式会社

总公司：东京都千代田区丸之内2-7-3 东京大楼22F
代表：执行总裁　田苗明
创业：1885年
设立：1918年
注册资金：5亿日元
员工人数：2,269名（截至2017年3月31日为止）
营业额：1兆590亿332万9,000日元（2016年度）
经营内容：制造、销售、进口及出口贵金属（白金、金、银及其他）和各种产业用贵金属产品
网址：http://www.tanaka.com.cn

关于田中贵金属集团

田中贵金属集团自1885 年（明治18年）创业以来，营业范围以贵金属为中心，并以此展开广泛活动。在日本国内，以最高水准的贵金属交易量为傲，长年以来不遗余力地进行产业用贵金属制品的制造和销售，以及提供作为宝石饰品及资产的贵金属商品。并且，作为贵金属相关的专家集团，国内外的各集团公司进行制造、销售以及技术一体化，携手合作提供产品及服务。此外，为了不断地推进全球化，在2016年还将Metalor Technologies International SA纳入了集团企业当中。

田中贵金属集团今后也将作为贵金属的专家，通过事业的发展，为宽裕丰富的生活贡献一己之力。

田中贵金属集团核心5家公司如下所示 :
- 田中控股株式会社，纯粹控股公司　
- 田中贵金属工业株式会社
- 田中电子工业株式会社
- 日本电镀工程株式会社
- 田中贵金属珠宝株式会社

报导相关咨询处
田中控股株式会社
https://www.tanaka.co.jp/en/protanaka/inquiry/index.php

Topic: Press release summary
Source: Tanaka Holdings Co., Ltd.
Sectors: Metals & Mining, Electronics
https://www.acnnewswire.com
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