English | 简体中文 | 繁體中文 | 한국어 | 日本語
2019年9月12日 11時00分 HKT/SGT
Share:
    

Source: Mitsubishi Electric
三菱電機、マルチワイヤ放電スライス加工機「DS1000」発売のお知らせ
新技術「D-SLICE」を採用し、次世代半導体材料の放電スライス加工を世界で初めて実用化

東京, 2019年9月12日 - (JCN Newswire) - 三菱電機株式会社は、新開発のマルチワイヤ放電スライス技術「D-SLICE(ディースライス)※1」により、SiC(炭化ケイ素)やGaN(窒化ガリウム)など次世代半導体材料の放電スライス加工を世界で初めて※2実用化したマルチワイヤ放電スライス加工機「DS1000」を11月1日に発売します。ウエハスライス工程における生産性向上とランニングコスト低減に貢献します。本製品は「SEMICON Japan 2019」(12月11日~13日、於:東京ビッグサイト)に出展します。

新製品の特長

1. 新技術「D-SLICE」搭載により、次世代半導体材料の放電スライス加工を世界で初めて実用化
- これまでに培った高精度な放電加工技術とマルチワイヤ制御技術により、放電による非接触加工が可能な当社独自のマルチワイヤ放電スライス技術「D-SLICE」を搭載
- 「D-SLICE」により、高硬度なSiCや高脆性なGaNなどの次世代半導体材料の放電スライス加工を世界で初めて実用化

2. 新開発「マルチワイヤ放電制御」により、高い生産性を実現
- 次世代半導体材料を同時に20枚スライス可能
- ワイヤの間隔を最小600um※3で周回可能で、素材の有効活用率を従来比※4 20%向上
- 非接触加工により材料割れや表面のダメージを抑制し、歩留まりを従来比※4 40%改善

3. 新開発「マルチ放電加工電源」により、高効率加工とランニングコスト低減に貢献
- 並列する各々のワイヤへの給電部を独立させ同時に均一なエネルギーを供給・放電することにより、加工速度を従来比※4 60%向上
- 専用高周波電源により、直径0.1mmの細いワイヤ電極線でも断線することなく連続加工が可能
- 省エネルギー電源に加え、ダイヤモンド砥粒を使用しない安価なワイヤの採用により、ランニングコストを従来比※4 80%削減

本リリースの詳細は下記をご参照ください。
http://www.mitsubishielectric.co.jp/news/2019/0912.html

概要:三菱電機株式会社

詳細は http://www.mitsubishielectric.co.jp をご覧ください。

トピック: Press release summary
セクター: Electronics
http://www.acnnewswire.com
From the Asia Corporate News Network


Copyright © 2019 ACN Newswire. All rights reserved. A division of Asia Corporate News Network.

 

Mitsubishi Electric Releated News
Sept 11, 2019 11:00 HKT/SGT
三菱電機、「CEATEC 2019」出展のお知らせ
Sept 10, 2019 12:00 HKT/SGT
三菱電機、汎用インバーター「FREQROL-E800シリーズ」発売のお知らせ
Sept 10, 2019 12:00 HKT/SGT
三菱電機、「普及モデル600V耐圧ハーフブリッジドライバーHVIC」発売
Sept 5, 2019 11:00 HKT/SGT
三菱電機、熊谷ラグビー場向けに 「オーロラビジョン」を納入
Sept 4, 2019 12:00 HKT/SGT
三菱電機、世界初 プリント基板に実装可能な「金属腐食センサー」を開発
More news >>
Copyright © 2019 ACN Newswire - Asia Corporate News Network
Home | About us | Services | Partners | Events | Login | Contact us | Privacy Policy | Terms of Use | RSS
US: +1 800 291 0906 | Beijing: +86 400 879 3881 | Hong Kong: +852 8192 4922 | Singapore: +65 6653 1210 | Tokyo: +81 3 6859 8575