東京, 2024年1月31日 - (亞太商訊) - 經營產業用貴金屬事業的田中貴金屬集團核心企業──田中貴金屬工業株式會社（總公司：東京都千代田區、執行總裁：田中浩一朗），宣佈建立了治具洗淨法「TANAKA Green Shield」。本洗淨法的特色是在半導體製程中使用的真空成膜裝置(※1)零件的襯板 (※2)上進行鍍鎳加工處理。經過鍍鎳加工的襯板能使鉑與鈀等的PGM(※3) 濺鍍膜易於剝離。

田中貴金屬工業推展再利用業務，將濺鍍裝置、真空蒸鍍裝置等以SUS（不銹鋼）製為主的真空成膜裝置零件上附著的濺鍍膜剝離，進行貴金屬的回收提煉，並將回收後的貴金屬和精密清洗過的零件歸還給客戶。

這項清淨法運用了田中貴金屬工業的獨特技術——底材鍍膜的專門知識。利用對襯板進行鍍鎳加工，可以在不損傷底材的情況下，以化學處理剝離PGM濺鍍膜。由於PGM濺鍍膜比傳統製程更容易剝離，可望能夠減少在清洗設備時使用的洗淨劑用量，有助於減經環境負荷。此外，預料還會減少研磨過程中因飛散引起的貴金屬回收損失，因此可以預期高的PGM回收率和降低成本。

對於「TANAKA Green Shield」，田中貴金屬工業設定的目標是在2025年之前整備能夠對應各式各樣的形狀與尺寸零件的體制，並將PGM膜的剝離回收量擴大到目前的6倍。

關於治具洗淨方法

真空成膜裝置零件的治具洗淨方法有物理剝離（噴砂處理）、鋁熔射基底成膜等方法。物理剝離是透過噴塗研磨劑（洗淨劑）刮除附著膜的洗淨方法，由於成本低廉，目前成為治具洗淨方法的主流。這項方法缺點在於因使用研磨劑對基材表面造成損傷，導致基材的生命週期縮短，並且還發生因飛散導致貴金屬回收損失。另一方面，利用鋁熔射基底成膜的治具洗淨是預先以熔射法將鋁塗層到襯板，並透過用藥液溶解鋁來剝離附著膜的方法。這項方法缺點是鋁的非成膜面所形成的附著膜難以回收，且鋁的成膜費用非常昂貴。

「TANAKA Green Shield」在襯板上預先進行鍍鎳的基底加工。例如，在濺鍍加工（使用襯板）後，僅溶解襯板與PGM濺鍍膜之間的鎳鍍塗層，不僅可以剝離PGM濺鍍膜，還能夠在不損傷基材的情況下剝離各種成分的附著膜。這項基底加工其襯板和濺鍍膜具有高密合性，能夠防止因濺鍍膜剝落導致的濺鍍加工不良，還能夠在各種形狀的零件上進行電鍍加工。本洗淨法除了可以防止基材劣化外，還實現比鋁成膜的成本更低。此外，由於還能減少洗淨劑的用量，是兼具環保的下一代治具洗淨法。

田中貴金屬工業及循環經濟

田中貴金屬工業自1885年（明治18年）創業以來一直從事貴金屬再利用事業。除了透過多年的貴金屬研究開發累積的現有貴金屬再利用技術外，也在推動名為「TANAKA Green Shield」的貴金屬再利用的相關新技術開發。田中貴金屬工業提供的貴金屬再利用事業，對推動有限的貴金屬資源再利用及實現循環經濟做出貢獻。

（※1）真空成膜裝置：在濺鍍和蒸鍍等半導體製程中，在薄膜成型工序所使用的設備
（※2）襯板：為了防止膜附著於成膜裝置的腔體（用於引起物理和化學反應的密封反應容器）內壁上所安裝的板子
（※3）PGM：係指貴金屬中的鉑、鈀、銠、釕、銥、鋨等6種

關於田中貴金屬集團

田中貴金屬集團自1885年（明治18年）創業以來，營業範圍向來以貴金屬為中心，並以此展開廣泛 活動。在日本國內，以最高水準的貴金屬交易量為傲的田中貴金屬集團，長年以來除了進行產業用貴 金屬產品的製造和販售外，也供應貴金屬製作珠寶飾品和投資型貴金屬商品。本集團以貴金屬專業團隊之姿，旗下的國內外各集團公司協調合作，使製造、販售與技術一體化，並供應相關產品與服務。2022 年度（2023年3月止）的合併營業額為6,800億日圓，擁有5,355名員工。

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